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上海叠泉水泵(集团)有限公司

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光刻技术

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光刻技术,又称为光刻工艺、光复印工艺,是指在光照作用下,借助光致抗蚀剂(又名光刻胶)将掩膜版上的图形转移到基片上的技术。其基本原理是利用光的特性,通过光源、掩膜、光敏材料和显影等步骤,将图案传输到待加工的基片上。具体来说,光经过掩膜的透明区域照射到光敏材料上,使其发生化学或物理变化,然后通过显影去除未曝光的光敏材料,z终形成所需的图案。
光刻技术的主要过程包括掩膜制作、感光剂涂覆、曝光、显影、图案传递等步骤,具体如下:
掩膜制作:在一个透明基底上制作出所需的芯片图形,并将其覆盖在半导体材料上。掩膜版上的图形决定了z终转移到基片上的图案。
感光剂涂覆:在半导体材料表面涂覆一层感光剂(即光刻胶)。感光剂的选择取决于波长和能量,它会在光照下发生化学或物理变化。
曝光:利用光刻机将设计好的芯片图形中的紫外光(或其他光源)通过掩膜传递到感光剂上。这些光通过曝光过程,使得感光剂在光照区域发生化学或物理变化。
显影:化学变化使得感光剂在光照区域变得可溶于相应的显影溶液。而未经光照的区域则保持不变,形成一种光刻图案。
图案传递:经过显影处理后,利用化学或物理方法将光刻图案传递到半导体材料表面,例如通过刻蚀技术将图案转移到基片上。
更多访问:
https://www.chem17.com/st443641/product_36278301.html
http://www.cqbmftec.com/SonList-2286775.html

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