PS3L100-300UA系列为XYZ轴运动纳米位移台。XYZ轴设计为300微米大行程运动双向运动，方便样品移动，可选配内部位置传感器进行闭环，可进行重复的位置测量。
由于FEA的优化这款平台提供了z高的动态性能和出色的引导精度。 即使在非常紧凑的包装中实现高质量负载，也可以实现这一点。 本系列系列专为大承载动态应用领域设计。
压电平台由集成在带有内部杠杆传动装置的壳体中的执行器组成。 压电平台通过四个对角孔固定在基板上。特别注意因平台为XY叠加结构，压电平台的固定孔为z下端的压电平台，切勿锁定上方的运动平台，否则导致柔性机构的损坏。
产品特性
—XYZ位移300μmx300μmx80μm（闭环）
—多种负载安装孔位
—大承载设计
—XY双向驱动带来更高动态特性
选配功能
—可定制孔位及转接装置
—可选PZT&Sensor连接器及线缆长度
—可选配闭环(SGS) 位置反馈系
—4通道驱动控制
应用领域
—精密加工领域
—测量、计量
—光学镜片调整与对准
—图像处理与扫描
结构原理 堆叠形式 典型应用
PS3L100-300UA系列技术参数
