气氛指标
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加热指标
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1.气柜:三通道混气;
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1.温度范围:室温至800℃;
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2.气压范围
:0-1Bar
;
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2.温度准确度:优于5%;
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3.气压准确度:30mBar;
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3.温度稳定性:优于±0.1℃;
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4.气体流速:0.01-0.4mL/min;
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4.四电极加热,带温度反馈;
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5.可通气体:H
2
,N
2
,O
2
,He,Ar,CO,CO
2
,CxHy等。
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5.软件控制;
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6.软件控制
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6.可搭配第三方源表、质谱分析附件
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