光刻胶烘箱 class100光刻胶联网无尘烘箱
智能烘箱过程管理系统由上海旦顺实业有限公司自主研发，基于TCP/ip协议，与工厂系统对接，实现自动化烘烤，过程管理。控制方便、操作简单、灵活性大。高精度控制、智能化操作、人性化的构造，大大提高生产效力！
智能烘箱过程管理描述：
1.> 工厂系统，选择烘烤工艺，启动/停止烘箱；
2.> 工厂系统根据，过程判断待烤料件工位，记录反馈工位信息；
3.> 系统控制开/关门等动作；
4.> 系统记录并处理各种烘箱异常事件。如：超温，氮气不足，含氧量超标、门未关到位；
5.> 实施记录各种相关数据，如，温度，料件ID，工艺信息
智能烘箱主要参数介绍：
温度范围：室温+20℃～300/400/500/600℃
均匀度：±1.5%
洁净等级：Class10 Class100（洁净度要求可根据客户需求配置）
含氧量：<=20PPM 50PPM 100PPM 200PPM 1000PPM （含氧量要求可根据客户需求配置）
升温速度：常温～+600℃,升温速率：0~7℃/min，升温斜率程序可控
降温速度：降温斜率程序可控，500℃~300℃约3~5℃/min,300℃~120℃约1~3℃/min,120℃~65℃约0.5~1℃/min
控制系统优势介绍
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控制系统 |
工控电脑+欧姆龙PLC |
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权限 |
给每个管理者、工程师、操作员独立用户名和密码； |
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给每个操作者，自定义分配权限（如：启动，停止，调取工艺，调试，查看报表……） |
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记录当前操作者的所有操作记录； |
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控制方式切换 |
本地模式 |
由操作者，创建工艺、选择工艺、执行； |
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远程模式 |
客户系统发送运行工艺指令。支持：MES, SECS/GEM (其他系统，可沟通开发) |
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数据信息(数据信息可以存10年以上！) |
运行工艺信息记录 |
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运行数据记录（如：温度、时间、含氧量、气体流量、压力……） |
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事件记录（开/关门事件、运行/停止事件、报警事件、故障事件） |
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通讯记录（与客户系统通讯记录） |
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操作记录（操作者操作记录，如：登录，注销，故障处理……） |
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故障信息显示 |
通讯故障 |
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加热断线 |
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循环风机故障 |
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气体管路故障 |
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异常处理 |
上偏差报警、下偏差报警、上偏差报警停机、上限报警、上限报警停机；（控制点和采样点） |
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