布鲁克 Micro-XRF On SEM 光谱仪存在一系列不同的分析技术，以便从代表单一矿物相的较小区域获取地球化学信息。常见的分析技术基于电子束（e-beam）源，即电子探针微分析仪 （EPMA） 或带有能量分散光谱仪的 SEM（SEM - EDS)。
同样，Micro-XRF分析可被视为电子束激发的补充技术，它也提供小区域样本信息。Micro-XRF 基于光子激发，样品会直接通过 X 射线 （(X-Ray-beam） 发生作用，与传统的基于电子束的系统相比，X 射线束具有明显的差异。现代 X 射线多面体光学的可用性使 X 射线能够聚焦到小于 30μm 的点大小，并且所有光片都包含在XTrace，可安装在可用SEM端口上的XRF源（图1）。这导致显微镜系统具有双光束的潜力，即电子束和X射线束。因此，可以使用与电子束系统类似的参数操作 Micro-XRF 系统，从而产生与传统点 SEM-EDS 分析相媲美的结果，同时从X射线光束样本相互作用中获取其他信息。
布鲁克 Micro-XRF On SEM 光谱仪是利用扫描电子显微镜（SEM）对传统能量分散光谱（EDS）分析的一种互补的无损分析技术。这种分析对于在未知样本中描述元素成分非常重要，从大厘米大小的同构标本到小微米颗粒。
X射线激发对微量元素检测（某些元素的灵敏度低至10ppm）、扩展的 X 射线光谱范围（高达 40 keV）以及样本中更深入的信息具有更高的灵敏度。
配备X射线管，结合微聚焦X射线光学，可产生30μm的小点大小，具有高强度信号产额。
模块化的压电陶瓷piezo-based stage，专门设计安装在现有的SEM阶段之上，使高速元素X射线秒扫描mapping"“on the fly"大面积高达4毫米/秒的速度。这使X射线映射数据能够在50x50 mm（或更高）的样本大小上采集，将光元素光谱数据以及微量元素和/或更高能量X射线数据整合到快速且用户友好的工作流中。
X射线激发的更大深度允许多层系统从1纳米开始，范围高达40μm，这是不可能被电子激发出来的。
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