Helios 5 DualBeam FIB双束扫描电镜经过精心设计，可满足材料科学研究人员和工程师对广泛的 FIB-SEM 使用需求，即使是具挑战性的样品。
Helios 5 DualBeam FIB双束扫描电镜重新定义了高分辨率成像的标准：高材料对比度，快、简单、准确的高质量样品制备，用于 S/TEM 成像和原子探针断层扫描（APT）以及高质量的亚表面和 3D 表征。在 Helios DualBeam 系列久经考验的性能基础上，新一代的 Helios 5 DualBeam 进行了改进优化，所有这些都旨在确保系统处于手动或自动工作流程的运行状态。
半导体行业技术参数：
|
|
Helios 5 CX |
Helios 5 HP |
Helios 5 UX |
Helios 5 HX |
Helios 5 FX |
|
|
|
样品制备与XHR扫描电镜成像 |
终样品制备(TEM薄片，APT) |
STEM亚纳米成像与样品制备 |
|||
|
SEM |
着陆电压 |
20ev-30kev |
20ev-30kev |
|||
|
分辨率 |
0.6nm@15kev 1.0nm@1kev |
0.6nm@2kev 0.7nm@1kev 1.0nm@500ev |
||||
|
STEM |
分辨率@30kev |
0.7nm |
0.6nm |
0.3nm |
||
|
FIB制备过程 |
大材料去除束流 |
65nA |
100nA |
65nA |
||
|
终抛光电压 |
2kv |
500v |
||||
|
TEM样品制备 |
样品厚度 |
50nm |
15nm |
7nm |
||
|
自动化 |
否 |
是 |
是 |
|||
|
样品处理 |
行程 |
110×110×65mm |
110×110×65mm |
150×150×10mm |
100×100×20mm |
100×100×20mm+5轴（S）TEMCompustage |
|
负载锁 |
手动 |
自动 |
手动 |
自动 |
自动+自动插入/提取STEM杆 |
|
材料科学行业技术参数：
|
|
|
Helios 5 CX |
Helios 5 UX |
|
离子光学 |
|
具有优越的高电流性能的Tomahawk HT 离子镜筒 |
具有优越的大电流和低电压性能的Phoenix离子镜筒 |
|
离子束电流范围 |
1 pA – 100 nA |
1 pA – 65 nA |
|
|
加速电圧 |
500 V – 30 kV |
500 V – 30 kV |
|
|
大水平视场宽度 |
在光束重合点时为0.9 mm |
在光束重合点时为0.7 mm |
|
|
离子源寿命 |
1,000 hours |
1,000 hours |
|
|
|
两级差动泵 |
两级差动泵 |
|
|
飞行时间矫正 |
飞行时间矫正 |
||
|
15孔光阑 |
15孔光阑 |
||
|
电子光学 |
Elstar超高分辨率场发射镜筒 |
Elstar超高分辨率场发射镜筒 |
|
|
磁浸没物镜 |
磁浸没物镜 |
||
|
高稳定性肖特基场发射枪提供稳定的高分辨率分析电流 |
高稳定性肖特基场发射枪提供稳定的高分辨率分析电流 |
||
|
电子束分辨率 |
工作距离下 |
0.6 nm at 30 kV STEM |
0.6 nm at 30 kV STEM |
|
0.6 nm at 15 kV |
0.7 nm at 1 kV |
||
|
1.0 nm at 1 kV |
1.0 nm at 500 V (ICD) |
||
|
0.9 nm at 1 kV 减速模式* |
|
||
|
在束流重合点 |
0.6 nm at 15 kV |
0.6 nm at 15 kV |
|
|
1.5 nm at 1 kV 减速模式* and DBS* |
1.2 nm at 1 kV |
||
|
电子束参数 |
电子束流范围 |
0.8 pA to 176 nA |
0.8 pA to 100 nA |
|
加速电压范围 |
200 V – 30 kV |
350 V – 30 kV |
|
|
着陆电压 |
20 eV – 30 keV |
20 eV – 30 keV |
|
|
大水平视场宽度 |
2.3 mm at 4 mm WD |
2.3 mm at 4 mm WD |
|
|
探测器 |
Elstar 镜筒内 SE/BSE 探测器 (TLD-SE, TLD-BSE) |
||
|
Elstar i镜筒内SE/BSE 探测器 (ICD)* |
|||
|
Elstar 镜筒内 BSE 探测器 (MD)* |
|||
|
样品室内Everhart-Thornley SE 探测器 (ETD) |
|||
|
红外相机 |
|||
|
高性能离子转换和电子探测器(SE)* |
|||
|
样品室内样品导航彩色光学相机Nav-Cam Camera* |
|||
|
可伸缩式低电压、高衬度、分割式固态背散射探测器(DBS)* |
|||
|
可伸缩STEM 3+ 探测器* |
|||
|
电子束流测量 |
|||
|
样品台和样品 |
样品台 |
灵活五轴电动 |
压电驱动XYR轴的高精度五轴电动工作台 |
|
XY |
110 mm |
150 mm |
|
|
Z |
65 mm |
10 mm |
|
|
R |
360° (连续) |
360° (连续) |
|
|
倾斜 |
-15° to +90° |
-10° to +60° |
|
|
大样品高度 |
与优中心点间隔85mm |
与优中心点间隔55mm |
|
|
大样品质量 |
样品台任意位置500 g |
样品台任意位置500 g |
|
|
0° 倾斜时大5kg |
|||
|
大样品尺寸 |
直径110 mm可沿样品台旋转时 |
直径150 mm可沿样品台旋转时 |
|
|
|
优中心旋转和倾斜 |
优中心旋转和倾斜 |
|
更多信息：FIB双束扫描电镜
http://www.opton17.com/SonList-2220645.html
https://www.chem17.com/st439186/erlist_2220645.html
